SBS方式高エネルギー サブナノ(ピコ)秒レーザー SL230
製品詳細
分野
- 分析・検査
- 計測
- センシング
- プラズマ
- イメージング
メーカー
EKSPLA（リトアニア）
正規代理店概要
SBS方式採用 高精度外部トリガー制御
エネルギー : ~500 mJ@1064 nm | パルス幅 : 120 ps~ | 繰返し周波数 : ~50 Hz
高コントラスト プレトリガー | 高調波オプション可
特長
SL230は誘導ブリルアン散乱を利用した高エネルギーピコ秒レーザーです。
励起レーザーに高性能シングル縦モード(SLM)レーザーを用いることで200ps未満のジッターを実現し、モードロックレーザー等と比べ高精度な外部トリガー制御を可能にします。エネルギーはマルチアンプを用いる事で最大500mJとなり、高調波は5倍波まで対応可能です。高エネルギーが必要なプラズマやアブレーションなどに最適なレーザーです。
仕様
■ SL230シリーズ仕様 *1
Model *1 SL231 *2 SL234 SL235
パルスエネルギー 1064 nm 20 mJ 250 mJ 500 mJ
532 nm *3 8 mJ 125 mJ 240 mJ
355 nm *4 5 mJ 70 mJ 140 mJ
266 nm *5 2 mJ 40 mJ 80 mJ
213 nm *6 inquire
パルス安定度 *7 1064 nm 2% 1.5%
532 nm 3.5% 3%
355 nm 5% 4%
266 nm 8% 7%
213 nm inquire
パルス幅(1064nm,FWHM *8) 120 ps ± 15% 150 ps ± 15%
パルス幅安定性 *7 0.05
繰り返し周波数 50 Hz 10 Hz 5 Hz
線幅 ≦0.2 cm-1
偏光＠1064nm > 1:100
ジッター(StdDev) *9 0.2 ns
空間プロファイル near Gaussian Top Hat *10
ビーム位置安定度 *11 50 μrad
ビーム拡がり角 *12 <1.3 mrad <0.5 mrad
ビーム高さ 170±5 mm
プレパルスコントラスト ≤105 :1
ビーム径 (代表値) *13 ~4 mm ~10 mm ~12 mm
寸法 ヘッド 456×810×249 mm 456×1031×249 mm
電源 553×600×519 mm 553×600×665 mm
冷却 水冷 <10 L/min
室温 18-24℃
湿度 10-80%(結露なきこと)
ユーティリティー 208 or 380 V AC, 単相 50/60 Hz 208 or 230 V AC, 単相 50/60 Hz
消費電力 <2 kVA <3.5 kVA <4 kVA
*2： SL231は完全LD励起オプション有。 *3： SHオプションの場合、他波長は非同時。
*4： THオプションの場合、他波長は非同時。 *5： FHオプションの場合、他波長は非同時。
*6： FiHオプションの場合、他波長は非同時。 *7： 300パルスの平均値。
*8： 120-500 ps pr 500-1000ps でパルス幅可変オプション有。 *9： 外部制御時。
*10： Near Gaussian Fitオプション有。 *11： 300ショットのRMS値。
*12： 1/e2レベルでの全角値。 *13： 1/e2レベルでの測定値。
各資料
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