イオン源・電子源 TESシリーズ
製品詳細
分野
- 計測
- センシング
- その他
メーカー
Polygon Physics（フランス）
正規代理店概要
Polygon Physics社は超小型・超省電力ECRを用いたイオン源、電子源を提供しております。
イオンビームDeposition、イオンビームエッチング等の多くの用途に使用できます。
特長
■ 特長
・高い時間安定性
・超小型
・超省電力
・フィラメントフリー、非冷却で少メンテナンス
■ アプリケーション
・イオンビームスパッタ蒸着
・イオン注入
・イオンビームフィギア
・イオンビームスパッタリング
・イオンアシスト蒸着
・原子核・原子物理
仕様
■ 仕様 ：
モデル名 TES-40 TES-63 TES-100
放電 ECR filament free
ガス H2, He, N2, O2, 希ガス, 分子ガス
マイクロ波電力 (2.45GHz) 0.5～5W(Typ.)
最大エネルギー 5kV 15kW 30kW
最大パワービーム ー ー 3kW
真空内直径 36.5mm 62mm 96mm
フランジタイプ CF40 CF63 CF63
冷却 不要
ケーブル長 2m (オプション： 5m )
電源 19”ラックマウント
×119”ラックマウント
×1又は219”ラックマウント
×2
制御 マイクロコントローラ
通信プロトコル Ethernet UDP, RS232
ユーザーインターフェイス LabView executable(ethernet UDPのみ)
ソースガス制御 Microleak valveまたはマスフロー
アプリケーション
TES-40
TES-40-electrons ✔ ✔
TES-40-ions broad beam ✔ ✔ ✔ ✔
TES-40-ions-high brightness ✔ ✔ ✔
TES-63
TES-63-electrons ✔ ✔
TES-63-ions ✔ ✔ ✔ ✔
TES-63-ions-high brightness ✔ ✔ ✔ ✔
TES-63-ions scanner ✔ ✔ ✔
TES-100
TES-100-electrons ✔ ✔
TES-100-ions broad beam ✔ ✔ ✔ ✔
TES-100-ions-high stability ✔ ✔
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