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製品情報

イオン源・電子源 TESシリーズ

製品詳細

分野

  • 計測
  • センシング
  • その他

メーカー

Polygon Physics(フランス)

正規代理店

概要

Polygon Physics社は超小型・超省電力ECRを用いたイオン源、電子源を提供しております。
イオンビームDeposition、イオンビームエッチング等の多くの用途に使用できます。


特長

■ 特長
・高い時間安定性
・超小型
・超省電力
・フィラメントフリー、非冷却で少メンテナンス

■ アプリケーション
・イオンビームスパッタ蒸着
・イオン注入
・イオンビームフィギア
・イオンビームスパッタリング
・イオンアシスト蒸着
・原子核・原子物理


仕様

■ 仕様 :

モデル名TES-40TES-63TES-100
放電ECR filament free
ガスH2, He, N2, O2, 希ガス, 分子ガス
マイクロ波電力 (2.45GHz)0.5~5W(Typ.)
最大エネルギー5kV15kW30kW
最大パワービーム3kW
真空内直径36.5mm62mm96mm
フランジタイプCF40CF63CF63
冷却不要
ケーブル長2m (オプション: 5m )
電源19”ラックマウント
×1
19”ラックマウント
×1又は2
19”ラックマウント
×2
制御マイクロコントローラ
通信プロトコルEthernet UDP, RS232
ユーザーインターフェイスLabView executable(ethernet UDPのみ)
ソースガス制御Microleak valveまたはマスフロー

アプリケーション
中和
電子化学
高出力電子ビーム
エッチング
スパッタリング
表面活性化
ビームライン
加速器
質量分析
フィギュアリング
表面改質
TES-40
TES-40-electrons
TES-40-ions broad beam
TES-40-ions-high brightness
TES-63
TES-63-electrons
TES-63-ions
TES-63-ions-high brightness
TES-63-ions scanner
TES-100
TES-100-electrons
TES-100-ions broad beam
TES-100-ions-high stability

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