２チャンネルイメージング分光器　NP250-2

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概要

◆2つの独立したスペクトルチャンネル　　◆独立駆動の2段グレーティング　　◆高空間分解能・高波長分解能

仕様

■ 仕様：２チャンネルイメージング分光器　NP250-2

仕様
光学システム
光学設計	2つの独立したチャンネルを持つ非点収差補正ありのModified Hillスキーム
波長範囲	185 nm ～ 60 μm (※グレーティングによる)
F値 (標準)	4.2
F値 (各チャンネル)	6.1
焦点距離	270 mm
グレーティング回転角度の制限によるスキャニング範囲 (@1200 l/mm)	0 ～ 1280 nm
主要ミラー	軸外放物面ミラー
迷光 (レーザーライン632.8nmから20nm離れた位置)	2.5 x 10^-5
非点収差補償光学系
水平倍率	1.09
垂直倍率	1
垂直方向分解能
- フィールド中心	2 μm
- フィールド中心から10nm離れた位置	0.2 mm
焦点面	25 x 8 mm
光学系 *1
逆線分散	2.91 nm/mm
空間分解能
- PMT (@スリット幅10μm)	0.07 nm
- デジタルカメラ (@14μmピクセル)	0.08 nm
波長再現性	± 0.03 nm
波長精度	± 0.06 nm
波長ステップサイズ	0.01 nm
グレーティング
同時設置可能枚数	2
サイズ	50 x 40 x 10 mm
固定	手動交換可能なグレーティング用ポジショナー
回転	グレーティング加工表面の中心
グレーティング位置再現性 *2
- 波長方向	± 0.02 nm
- 垂直イメージ位置	± 0.2 nm
スペクトルスリット
制御	・電動：ステッパードライブ
制御	・手動：マイクロメーターねじ
開口幅	0 ～ 2.0 mm
平行度	± 1 μm
精度 (@スリット幅 1 mm)	± 10 μm
再現性
- 電動操作	± 1 μm
- 手動操作	± 1.5 μm
読み込み精度(@マイクロメーター)	2 μm
ステップサイズ (@電動)	0.5 μm
高さ	10 mm (絞り制御 0 ～ 10 mm)
駆動系
モーター	マイクロステッパー
ドライブ	Worm
ステップサイズ	1.62 arc seconds
精度	± 1 ステップ
最大速度	10000 ステップ/s
ポート
ポート数	入射 1、出射 2
波長方向に対する出射ポート位置再現性 *2	± 0.03 nm
ポート切り替え時間	30 s
制御系
インターフェース	Ethernet
サイズ・重量
全体サイズ (L x W x H)	510 x 280 x 215 mm
光学高さ	111 ～ 120 mm
重量	14 kg
電源	110 – 230 V, 50/60 Hz
消費電力	< 35 W

*1 ：グレーティング 1200 l/mm 、波長 546 nm 、検出画素 24 μm の場合
*2 ：グレーティング 1200 l/mm 、波長 546 nm の場合

■ グレーティング：

型番	刻線数 , mm-1	ブレーズ波長 , nm	* 逆線分散 , nm/mm	** 波長分解能 , nm	動作波長範囲 , nm	グレーティング回転角度による波長範囲限界 , nm
543600	3600	hol	0.95	0.03	185 - 425	425
542422	2400	225	1.47	0.04	185 - 540	640
542427	2400	270	1.46	0.04	185 - 540	640
542770	2400	400	1.38	0.04	270 - 640	640
541827	1800	270	1.97	0.06	185 - 540	860
541840	1800	400	1.92	0.06	270 - 800	860
541850	1800	500	1.87	0.05	335 - 860	860
541875	1800	750	1.61	0.05	500 - 860	860
541225	1200	250	2.96	0.09	185 - 500	1280
541228	1200	280	2.96	0.09	190 - 560	1280
541240	1200	400	2.96	0.09	270 - 800	1280
541250	1200	500	2.93	0.08	335 - 1000	1280
541260	1200	600	2.89	0.08	400 - 1200	1280
541275	1200	750	2.8	0.08	500 - 1280	1280
540927	900	270	3.97	0.11	185 - 540	1700
540623	600	230	5.95	0.17	185 - 460	2560
540628	600	280	5.96	0.17	190 - 560	2560
540630	600	300	5.96	0.17	200 - 600	2560
540640	600	400	5.96	0.17	270 - 800	2560
540650	600	500	5.6	0.17	335 - 1000	2560
540660	600	600	5.95	0.17	400 - 1200	2560
540675	600	750	5.93	0.17	500 - 1500	2560
540428	400	280	8.92	0.26	190 - 560	3840
5404008	400	800	8.93	0.26	535 - 1600	3840
5404012	400	1200	8.87	0.26	800 - 2400	3840
5404017	400	1700	8.71	0.25	1135 - 3400	3840
5404020	400	2000	8.56	0.25	1335 - 3840	3840
5404025	400	2500	8.21	0.24	1665 - 3840	3840
540330	300	300	11.89	0.34	200 - 600	5120
540335	300	350	11.89	0.35	235 - 700	5120
540350	300	500	11.91	0.35	335 - 1000	5120
540360	300	600	11.92	0.34	400 - 1200	5120
540370	300	700	11.92	0.34	465 - 1400	5120
5403010	300	1000	11.92	0.34	665 - 2000	5120
5403015	300	1500	11.85	0.34	1000 - 3000	5120
5403020	300	2000	11.71	0.34	1335 - 4000	5120
5403030	300	3000	11.2	0.32	2000 - 5120	5120
5403035	300	3500	10.8	0.31	2335 - 5120	5120
540235	200	350	17.82	0.51	235 - 700	7680
540240	200	400	17.83	0.51	265 - 800	7680
540250	200	500	17.84	0.51	335 - 1000	7680
540270	200	700	17.86	0.51	465 - 1400	7680
5402015	200	1500	17.87	0.51	1000 - 3000	7680
5402020	200	2000	17.82	0.51	1335 - 4000	7680
5402025	200	2500	17.72	0.51	1665 - 5000	7680
5402030	200	3000	17.57	0.51	2000 - 6000	7680
541547	150	475	23.76	0.68	315 - 950	10300
541570	150	700	23.79	0.69	465 - 1400	10300
5415030	150	3000	23.7	0.68	2000 - 6000	10300
5415045	150	4500	23.23	0.67	3000 - 9000	10300
540165	100	650	35.6	1	435 - 1300	15400
540170	100	700	35.6	1	465 - 1400	15400
5401010	100	1000	35.7	1	665 - 2000	15400
5401020	100	2000	35.8	1	1335 - 4000	15400
5401025	100	2500	35.8	1	1665 - 5000	15400
5401030	100	3000	35.7	1	2000 - 6000	15400
5401042	100	4160	35.6	1	2800 - 8300	15400
5401048	100	4840	35.5	1	3300 - 9600	15400
5401055	100	5500	35.3	1	3700 - 11000	15400
5401062	100	6200	35.1	1	4200 - 12400	15400
5401072	100	7200	34.6	1	4900 - 14400	15400
5401088	100	8750	33.8	1	5900 - 15400	15400
5401097	100	9700	33.1	1	6500 - 15400	15400
5401103	100	10300	32.6	0.9	6900 - 15400	15400
5475070	75	7000	47.2	1.4	4700 - 14000	20600
5475095	75	9500	46.2	1.3	6400 - 19000	20600
5450010	50	1000	71	2	700 - 2000	30900
5450038	50	3800	71.5	2.1	2700 - 7600	30900
5450063	50	6300	71.5	2.1	4200 - 12600	30900
5450070	50	7000	71.4	2.1	4700 - 14000	30900
5450083	50	8300	71.2	2.1	5600 - 16600	30900
5450124	50	12360	70.1	2	8300 - 24700	30900
5450169	50	16900	67.9	2	11300 - 30900	30900
5450200	50	20000	65.7	1.9	13400 - 30900	30900
5437028	37.5	2790	95.2	2.7	1900 - 5500	41200
5437056	37.5	5570	95.4	2.7	3700 - 11100	41200
5437093	37.5	9260	95.2	2.7	6200 - 18500	41200
5437156	37.5	15600	93.8	2.7	10400 - 31200	41200
5424116	24	11600	149	4.3	7800 - 23200	64000
5424144	24	14400	148.8	4.3	9600 - 28800	64000
5424173	24	17300	148.4	4.3	11600 - 34600	64000
5424243	24	24300	146.6	4.2	16200 - 48600	64000
5424285	24	28500	145	4.2	19000 - 57000	64000
5424325	24	32500	143	4.1	21700 - 63000	64000