３軸ピエゾステージ

PiezoConcept社製の３軸ピエゾステージは、シリコンセンサーを搭載し、顕微鏡用途等に幅広く対応できる超安定ピエゾステージです。
マイクロメーター付き位置決めマニュアルステージと組合せたハイブリッドステージモデル、サンプルホルダー等、あらゆる倒立型顕微鏡へ対応可能です。
熱安定性が必要なアプリケーションに対しては、高い熱安定性をもつインバー合金製モデルもご提供可能です。

・高分解能・高安定性
・クローズドループ制御
・pmレベルの低ノイズ
・シリコンセンサー技術
・超薄型（t20.5mm）、大開口（□66mm）付きモデル有
・マニュアルステージと組合せたハイブリッドモデル、サンプルホルダーをご用意

■ 用途
・共焦点顕微鏡
・超解像顕微鏡
・ナノリソグラフィ
・光ピンセット
・AFM　等

■ 仕様：3軸ステージ (XYZ軸)

モデル		移動範囲 X-Y-Z	分解能X-Y-Z	共進周波数X/Y/Z
		(μm)	(nm)	(Hz)
	LT3	100 200 300	0.1 0.2 0.3	500 / 400 / 400 400 / 350 / 300 300 / 250 / 250
	BIO3	100 200 300	0.1 0.2 0.3	500 / 400 / 400 400 / 350 / 300 300 / 250 / 250
	LF3	XY:100, Z:50 XY:200, Z:50 XY:300, Z:50	XY: 0.1, Z: 0.05 XY: 0.2, Z: 0.05 XY: 0.3, Z: 0.05	500 / 350 / 1500 400 / 300 / 1500 300 / 200 / 1500
	LFS3	XY:100, Z:20	XY:0.1, Z:0.02	350 / 250 / 2700
	LFHS3	XY:30, Z:25 / 50 XY:50, Z:25 / 50 XY:75, Z:25 / 50	XY:0.03, Z:0.025 / 0.05 XY:0.05, Z:0.025 / 0.05 XY:0.075, Z:0.025 / 0.05	3000 / 2000 / 1500
	LTHS3	XY:30, Z:25 / 50 XY:50, Z:25 / 50 XY:75, Z:25 / 50	XY:0.03, Z:0.025 / 0.05 XY:0.05, Z:0.025 / 0.05 XY:0.075, Z:0.025 / 0.05	3000 / 2000 / 1500
	C3	100 200	0.1 0.2	400 / 250 / 220 300 / 200 / 180
	SPM3	XY:30 / 50 / 75 Z:5 / 10 / 25 / 50	XY:0.03 / 0.05 / 0.075 Z:0.005 / 0.01 / 0.025 / 0.05	XY:3000 / 2000, Z:12500 / 5500 / 5500 / 3500
	SPM3LR	XY:100 / 200 / 300 Z:5 / 10 / 25 / 50	XY:0.1 / 0.2 / 0.3 Z:0.005 / 0.01 / 0.025 / 0.05	XY:500 / 300, 350 / 200, 250 / 150 Z:12500 / 5500 / 5500 / 3500

モデル		サイズＷ×Ｌ×Ｈ	開口部
		(mm)	(mm)
	LT3	152.5 x 193 x 20.7	66 x 66
	BIO3	152.5 x 213 x 20.45	83.6 x 54
	LF3	140 x 121 x 35.2	66 x 66
	LFS3	100 x 100 x 50	40 x 40
	LFHS3	140 x 121 x 33,6	66 x 66
	LTHS3	190 x 152.5 x 22.3	66 x 66
	C3	48.5 x 48.5 x 48.7	-
	SPM3	121 x 121 x 33.7~69.7	-
	SPM3LR	121 x 121 x 33.7~69.7	-

・コントローラー/アクセサリ

モデル
	Controller	3chコントローラ	アナログ制御 デジタル制御（オプション）
	HYBRID SYSTEMS	ストローク XY: 25mm	対応モデル LT3, BIO3, LF3, LFHS3, LTHS3, SPM3
	sample holder