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3軸ピエゾステージ

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分野

  • 計測
  • イメージング
  • バイオ・ライフサイエンス
  • OEM/組込み
  • 装置開発
  • その他

メーカー

Piezo Concept(フランス)

正規代理店

概要

高分解能・高安定性に優れたシリコンセンサーを搭載したピエゾステージ
XYZストローク:30×30×5(μm) 300×300×300 (μm)
クローズドループ制御 | 薄型モデル | 大開口付きモデル


特長

PiezoConcept社製の3軸ピエゾステージは、シリコンセンサーを搭載し、顕微鏡用途等に幅広く対応できる超安定ピエゾステージです。
マイクロメーター付き位置決めマニュアルステージと組合せたハイブリッドステージモデル、サンプルホルダー等、あらゆる倒立型顕微鏡へ対応可能です。
熱安定性が必要なアプリケーションに対しては、高い熱安定性をもつインバー合金製モデルもご提供可能です。


・高分解能・高安定性
・クローズドループ制御
・pmレベルの低ノイズ
・シリコンセンサー技術
・超薄型(t20.5mm)、大開口(□66mm)付きモデル有
・マニュアルステージと組合せたハイブリッドモデル、サンプルホルダーをご用意


■ 用途
・共焦点顕微鏡
・超解像顕微鏡
・ナノリソグラフィ
・光ピンセット
・AFM 等


仕様

■ 仕様:3軸ステージ (XYZ軸)

モデル移動範囲 X-Y-Z分解能X-Y-Z共進周波数X/Y/Z
(μm)(nm)(Hz)
LT3100
200
300
0.1
0.2
0.3
500 / 400 / 400
400 / 350 / 300
300 / 250 / 250
BIO3100
200
300
0.1
0.2
0.3
500 / 400 / 400
400 / 350 / 300
300 / 250 / 250
LF3XY:100, Z:50
XY:200, Z:50
XY:300, Z:50
XY: 0.1, Z: 0.05
XY: 0.2, Z: 0.05
XY: 0.3, Z: 0.05
500 / 350 / 1500
400 / 300 / 1500
300 / 200 / 1500
LFS3XY:100, Z:20XY:0.1, Z:0.02350 / 250 / 2700
LFHS3XY:30, Z:25 / 50
XY:50, Z:25 / 50
XY:75, Z:25 / 50
XY:0.03, Z:0.025 / 0.05
XY:0.05, Z:0.025 / 0.05
XY:0.075, Z:0.025 / 0.05
3000 / 2000 / 1500
LTHS3XY:30, Z:25 / 50
XY:50, Z:25 / 50
XY:75, Z:25 / 50
XY:0.03, Z:0.025 / 0.05
XY:0.05, Z:0.025 / 0.05
XY:0.075, Z:0.025 / 0.05
3000 / 2000 / 1500
C3100
200
0.1
0.2
400 / 250 / 220
300 / 200 / 180
SPM3XY:30 / 50 / 75
Z:5 / 10 / 25 / 50
XY:0.03 / 0.05 / 0.075
Z:0.005 / 0.01 / 0.03 / 0.05
XY:3000 / 2000,
Z:12500 / 5500 / 5500 / 3500
SPM3LRXY:100 / 200 / 300
Z:5 / 10 / 25 / 50
XY:0.1 / 0.1 / 0.3
Z:0.005 / 0.01 / 0.03 / 0.05
XY:500 / 300, 350 / 200, 250 / 150
Z:12500 / 5500 / 5500 / 3500

モデルサイズW×L×H開口部
(mm)(mm)
LT3152.5 x 193 x 0.766 x 66
BIO3152.5 x 213 x 20.583.6 x 54
LF3140 x 121 x 35.266 x 66
LFS3100 x 100 x 5040 x 40
LFHS3140 x 121 x 33,666 x 66
LTHS3190 x 152.5 x 22.366 x 66
C348.5 x 48.5 x 48.7-
SPM3121 x 121 x 33.8~66.8-
SPM3LR121 x 121 x 33.8~66.8-

・コントローラー/アクセサリ

モデル
Controller3chコントローラアナログ制御
デジタル制御(オプション)
HYBRID SYSTEMSストローク
XY: 25mm
対応モデル
LT3, BIO3, LF3, LFHS3, LTHS3, SPM3
sample holder


各資料

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