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ピエゾステージ

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1軸ピエゾステージ

高分解能・高安定性に優れたシリコンセンサーを搭載したピエゾステージ
1軸:Z〜500 (μm)  | X〜1500 (μm)  | Θ〜510rad
クローズドループ制御  | 対物レンズ装着型 | ウェルプレート対応型

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2軸ピエゾステージ

高分解能・高安定性に優れたシリコンセンサーを搭載したピエゾステージ
XYストローク:10×10 (μm) 600×600 (μm)  | クローズドループ制御 
薄型モデル | 大開口付きモデル | 2軸チルトモデル

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3軸ピエゾステージ

高分解能・高安定性に優れたシリコンセンサーを搭載したピエゾステージ
XYZストローク:30×30×5(μm) 300×300×300 (μm)
クローズドループ制御 | 薄型モデル | 大開口付きモデル

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