高出力・完全空冷式フェムト秒レーザー FemtoLux 30
製品詳細
分野
- レーザー加工
メーカー
EKSPLA（リトアニア）
正規代理店概要
本レーザーは、革新的な直接冷媒冷却方式を採用し、冷却水不要の完全空冷式のレーザーです。冷却水不要によりメンテナンスの手間がかからず、また小型化・軽量化も達成し、省スペースで設置が可能です。
ディスプレイや電子機器・電子部品の製造、ガラス、サファイア、セラミックなどの脆性材料の微細加工・マーキング、および様々な金属やポリマーの最高品質の微細加工用に最適です。
特長
・波長 ： 1030 nm
・エネルギー ： 250 μJ＠バーストモード
・パルス幅 ： < 350 fs ～ 1 ps
・繰返し周波数 ： シングルショット ～ 5 MHz (AOM制御)
・ドライ冷却、冷却水不要
・メンテナンスフリー
■ 用途
・LCD、LED、OLEDの穴あけ、切断、リペア
・電子機器・電子部品製造
・様々なポリマー類 ・金属類の微細加工
・ガラス、サファイア、セラミックの微細加工
仕様
■ 仕様：FemtoLux30
FemoLux 30 仕様 *1
中心波長 1030 nm
パルス繰返しレート(PRR) *2 200kHz - 4MHz
周波数分周後のパルス繰返し周波数(PRF) PRF=PRR / N, N=1, 2, 3, .. , 65000; シングルショット
最大平均出力 > 27 W(Typ. 30W)
最大パルスエネルギー > 90 μJ
バーストモードでの最大トータルエネルギー *3 > 250 μJ
長時間出力安定性(Std.dev.) *4 < 0.5%
パルスエネルギー安定性(Std.dev.) *5 < 1%
パルス幅(FWHM) 可変, <350fs *6 - 1ps
ビーム品質 M2 < 1.2 (typical < 1.1)
ビーム真円度, far field > 0.85
ビーム拡がり角(全角) < 1 mrad
ビーム位置安定度 < 20 μrad/℃
トリガーモード 内部 / 外部
パルス出力制御 周波数分周, パルスピッカー, バーストモード,
パケットトリガリング, 出力アテニュエーション
制御インターフェイス USB / RS232 / LAN
レーザーヘッド冷却 ドライタイプ
(取り外し可能な冷却プレートによる直接冷媒冷却)
電源 100-240V AC, 単相, 50/60Hz
使用環境温度 18-27℃
湿度 10-80%(結露がないこと)
*2： 周波数分周が1の場合
*3： バーストモードでのパルス数を10, PRRを最小に設定した場合。パルス間隔は~20ns.
*4： 周囲環境が同じ条件でウォームアップから100時間 *5： 周囲環境が同じ条件時
*6： PRR >500kHz時. PRR <500kHz時の最小パルス幅は<400fs
各資料
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