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製品情報

高出力産業用フェムト秒レーザー FemtoLux 30

製品詳細

分野

  • レーザー加工
  • 装置開発

メーカー

EKSPLA(リトアニア)

正規代理店

概要

FemtoLux 30は革新的な直接冷媒方式を採用し、冷却水不要の完全空冷式のレーザーです。冷却水不要によりメンテナンスの手間がかからず、また小型化・軽量化も達成し、省スペースで設置が可能です。

ディスプレイや電子機器・電子部品の製造、ガラス、サファイア、セラミックなどの脆性材料の微細加工・マーキングおよび様々な金属やポリマーの最高品質の微罪加工用に最適です。


■ パフォーマンス

繰り返し周波数と出力平均出力、出力エネルギーの関係(typical)
1030 nm
繰り返し周波数と出力平均出力、出力エネルギーの関係(typical)
@ 515 nm
パルス幅(typical)
@ 1030 nm
パルスエネルギー安定性(typical) 長時間平均出力安定性(typical)
@ 1030 nm
平均出力と周囲温度(室温)の関係
@ 1030 nm
異なるバースト内パルス数の波形
(バースト内繰り返し周波数2.2GHzの場合)

 

バースト波形を矩形波に成形した波形
(バースト内繰り返し周波数2.2GHz、バースト発振233kHz) 
バースト波形を成形していない波形
(バースト内繰り返し周波数2.2GHz、バースト発振233kHz)

特長

・平均出力:30W @ 1030 nm 、(11 W @ 515 nm:オプション)
・最大出力エネルギー:90 μJ @ 1030 nm 50 μJ @ 515nm:オプション)
・MHzGHzバーストモード
・250 μJ/バースト
・パルス幅(可変):350 fs ~ 1 ps
・繰り返し周波数:シングルショット ~ 4 MHz
・乾式冷却


■ 主な用途
・LCD、LED、OLEDの穴あけ、切断、リペア
・電子機器・電子部品製造
・様々なポリマー類 ・金属類の微細加工
・ガラス、サファイア、セラミックの微細加工


仕様

■ 仕様:FemtoLux30

主な仕様 1)FemtoLux 30
中心波長基本波1030 nm
2倍波515 nm
繰り返し周波数 (PRR)範囲 2)200 kHz - 4 MHz
繰り返し周波数 (PRF)(分周器後)PRF = PRR / N, (N = 1, 2, 3, …, 65000); single shot
平均出力@1030nm> 27 W (typical:30 W)
@515nm> 11 W 3)
パルスエネルギー @1030nm> 90 μJ
@515nm> 50 μJ 3)
MHz / GHzバーストモードの総エネルギー> 250 μJ
長時間出力安定性 (標準偏差) 4)< 0.5 %
パルスエネルギー安定性 (標準偏差) 5)< 1 %
パルス幅 (FWHM)350 fs 6) - 1 ps(可変)
ビームクオリティM2 < 1.2 (typical < 1.1)
ビーム真円性 (far field)> 0.85
ビーム広がり角 (全角)< 1 mrad
ビーム位置熱安定性< 20 μrad / ℃
ビーム系 (出射口から20cm)@ 1030 nm 2.5 ± 0.4 mm
トリガーモード内部 / 外部
パルス出力制御分周期、パルスピッカー、バーストモード、
パケットトリガ、アッテネーター
制御インターフェイスRS232 / LAN
物理的特性
レーザーヘッドの冷却方法乾式冷却 (取り外し可能な冷却プレートを使用)
レーザーヘッドサイズ(幅 x 長さ x 高さ)429 x 569 x 130
電源サイズ (幅 x 長さ x 高さ)449 x 376 x 177 mm
アンビリカルケーブル3m (取り外し可能)
動作環境
電源100 - 240 VAC、単相、 50 / 60 Hz
使用環境温度18 - 27 ℃
相対湿度10 - 80 % (結露しないこと)
クリーンルームクラスISO クラス9 以上
1): 継続的な改善のため、すべての仕様は予告なく変更される場合があります。
 「typical」とマークされたパラメータは仕様ではありません。
2): 分周器をすべてのパルスを通るように設定した場合。搭載されたAOMで完全制御。
3): 繰り返し周波数200kHzの場合。
4): 一定の環境下でウォームアップ後、100時間以上で測定。
5): 一定の環境下で測定。
6): PRR>500kHzの場合。PRP<500kHzの場合、最短パルス幅は<400fs。

■ GHzバーストオプション

パラメーター
バースト繰り返し周波数200 - 650 (kHz)
バースト内部の繰り返し周波数 1)2 GHz
GHzバーストモードショートロング
パルス数 2)2 - 22 44 - 100
形状square, riseing, falling falling, pre-shaped 3)
1): ご要望に応じてカスタムなバース内繰り返し周波数が可能です。
2): バース内繰り返し周波数に依存します。
3): 詳細については、メーカー問い合わせ。


各資料

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