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高出力・完全空冷式フェムト秒レーザー FemtoLux 30

製品詳細

分野

  • レーザー加工

メーカー

EKSPLA(リトアニア)

正規代理店

概要

本レーザーは、革新的な直接冷媒冷却方式を採用し、冷却水不要の完全空冷式のレーザーです。冷却水不要によりメンテナンスの手間がかからず、また小型化・軽量化も達成し、省スペースで設置が可能です。
ディスプレイや電子機器・電子部品の製造、ガラス、サファイア、セラミックなどの脆性材料の微細加工・マーキング、および様々な金属やポリマーの最高品質の微細加工用に最適です。


特長

・波長 : 1030 nm
・エネルギー : 250 μJ@バーストモード
・パルス幅 : < 350 fs ~ 1 ps
・繰返し周波数 : シングルショット ~ 5 MHz (AOM制御)
・ドライ冷却、冷却水不要
・メンテナンスフリー


■ 用途
・LCD、LED、OLEDの穴あけ、切断、リペア
・電子機器・電子部品製造
・様々なポリマー類 ・金属類の微細加工
・ガラス、サファイア、セラミックの微細加工


仕様

■ 仕様:FemtoLux30

FemoLux 30 仕様 *1
中心波長1030 nm
パルス繰返しレート(PRR) *2200kHz - 4MHz
周波数分周後のパルス繰返し周波数(PRF)PRF=PRR / N, N=1, 2, 3, .. , 65000; シングルショット
最大平均出力> 27 W(Typ. 30W)
最大パルスエネルギー> 90 μJ
バーストモードでの最大トータルエネルギー *3> 250 μJ
長時間出力安定性(Std.dev.) *4< 0.5%
パルスエネルギー安定性(Std.dev.) *5< 1%
パルス幅(FWHM)可変, <350fs *6 - 1ps
ビーム品質M2 < 1.2 (typical < 1.1)
ビーム真円度, far field> 0.85
ビーム拡がり角(全角)< 1 mrad
ビーム位置安定度< 20 μrad/℃
トリガーモード内部 / 外部
パルス出力制御周波数分周, パルスピッカー, バーストモード,
パケットトリガリング, 出力アテニュエーション
制御インターフェイスUSB / RS232 / LAN
レーザーヘッド冷却ドライタイプ
(取り外し可能な冷却プレートによる直接冷媒冷却)
電源100-240V AC, 単相, 50/60Hz
使用環境温度18-27℃
湿度10-80%(結露がないこと)
*1: 性能向上のため予告なく仕様が変更になることがあります. 特に記載がない場合、仕様値は最小パルス幅での値です。
*2: 周波数分周が1の場合
*3: バーストモードでのパルス数を10, PRRを最小に設定した場合。パルス間隔は~20ns.
*4: 周囲環境が同じ条件でウォームアップから100時間  *5: 周囲環境が同じ条件時
*6: PRR >500kHz時. PRR <500kHz時の最小パルス幅は<400fs


各資料

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