製品情報
高出力LD励起ナノ秒増幅システム ANL HPシリーズ
製品詳細
分野
- 分析・検査
- 計測
- レーザー加工
- センシング
- プラズマ
- その他
メーカー
EKSPLA
（リトアニア）
正規代理店
概要
ANL HPシリーズは、オシレーター、増幅段のすべてがLD励起の高繰り返し・高エネルギーレーザーシステムです。
オプションで第二・第三高調波発生、任意のパルス波形発生が可能です。トムソン散乱計測、マルチステージOPCPAの励起に最適なシステムです。
■ パフォーマンス
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| ANL DPSSシステムのビームプロファイル@ 1064 nm、near field (typical) | ANL DPSSシステムのビームプロファイル@ 532 nm、near field (typical) |
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| ANL DPSSシステムのビームプロファイル@ガウシアンビームプロファイルオプション、near field (typical) | ANL DPSSシリーズの長時間エネルギー安定性 (typical) |
特長
・パルスエネルギー：2000 mJ @ 100 Hz, 200 mJ@ 1kHz (1064 nm)
・パルス幅：5 ns (オプション：2 – 500 nsで指定可能)
・繰り返し周波数：100 Hz or 1 kHz
・高調波発生 (オプション：第二、第三)
・任意のパルス波形発生 (オプション：1 – 50 nsのパルス幅を125ps刻みで波形調整)
仕様
■ ANL HPシリーズ仕様
主な仕様 1) ANL400100 ANL2k100 ANL2001k ANL2k100 -Burst
出力エネルギー @ 1064 nm 400 mJ 2000 mJ 200 mJ 2000 mJ
@ 532 nm 2) 3) 260 mJ 1300 mJ 130 mJ 1300 mJ
@ 355 nm 2) 120 mJ 600 mJ 60 mJ 600 mJ
繰り返し周波数 100 Hz 1 kHz 100 Hz
パルス幅 4) 5 ± 1 ns 可変バースト
パルスエネルギー安定性 5) @ 1064 nm ≤ 0.5 % ≤ 2 %
@ 532 nm ≤ 0.8 % ≤ 4 %
@ 355 nm ≤ 2 % N/A
長時間パワードリフト 6) ± 2 %
ビーム空間プロファイル 7) スーパーガウシアン
ビーム径 8) 7 mm 10 mm 7 mm 12 mm
ビーム位置安定性 9) ≤ 30 μrad
ビーム広がり角 ≤ 0.7 mrad ≤ 0.5 mrad ≤ 0.7 mrad ≤ 0.5 mrad
ジッター 10) ≤ 0.2 ns
偏光 直線
物理的特性 11)
レーザーヘッドサイズ
（幅 x 長さ x 高さ：mm）600 x 1200 x 300 900 x 1800 x 300 600 x 1200 x 300 900 x 1800 x 300
電源サイズ（幅 x 長さ x 高さ：mm） 553 x 600 x 830 553 x 600 x 1230 553 x 600 x 830 553 x 600 x 1800
アンビリカルケーブル 12) 2.5 m
使用要求 13)
電源 14) 208, 380, 400 VAC、三相、50 / 60 Hz
消費電力 15) ≤ 6 kW ≤ 10 kW
外部冷却水 15) 8 L / 分、
2 Bar、20 ℃以下 12 L / 分、2 Bar、20 ℃以下
周囲温度（室温） 22 ± 2 ℃
保管温度 15 -35 ℃
相対湿度（結露しないこと） ≤ 80 %
クリーンルームクラス ISO クラス 7 以上
*2：高調波出力はオプションです。仕様値はご購入頂いた各高調波ユニットに対して有効です。また同時の出力はできません。
*3：第二高調波は変換効率を70%にあげられるLBO結晶に交換することが可能です。もしTH/FHオプションもご購入される場合、第二高調波の変換効率は50%減少します。
*4： 標準のパルス幅は5nsです。それ以外のパルス幅は0.2 – 500 nsの間でご注文可能です。出力エネルギーはパルス幅に依存するので変わる可能性がございます。
*5：安定した環境下で平均出力エネルギーを正規化した値（RMS、60秒の平均化）。バーストモードのエネルギー安定性は時間的バーストモードの形状に依存します。
*6： 周囲環境の温度変化が±2℃以内の時で30分のウォームアップ後8時間測定した値。
*7：near-fieldで6-11次のスーパーガウシアン空間モード
*8： FWHMの位置で測定。
*9： 集光素子を使用して集光面でのビームの中心位置の動きで評価（RMS、60秒の平均化）。
*10：電気的出力信号（TRIG OUT：3.5V @ 50 Ω）に対しての光パルスのジッター。
*11：システムサイズは仮のもので、お客様のレイアウトやオプションに依存します。
*12：ご要望により最長5mまで可能です。
*13：詳細はメーカーのカタログをご参照ください。
*14：電圧の変動の許容範囲は通常の値から-15% ~ +10%以内です。
*15：消費電力と外部冷却水はシステムの構成によって値が変わります。
各資料
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