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高性能分光器 MSシリーズ

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分野

  • 計測
  • プラズマ
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  • 教育
  • 装置開発
  • その他

メーカー

SOL instruments(ベラルーシ)

正規代理店

概要

ツェルニターナ型を採用した高スループット・高分解能の高性能分光器
焦点距離 20355275 cm | 非点収差を抑えたイメージングモデルあり
グレーティング 最大4枚搭載可能 | 出射ポート 最大2


特長

MSシリーズ分光器は、ツェルニターナ型を採用した高スループット/高イメージングの高性能分光器です。非点収差と迷光を抑え、イメージング性能の良いモデルも取り揃えています。
必要な分解能により、焦点距離は20 cm35 cm52 cm75 cm4種類から選択可能です。グレーティングに関しては、最大4枚搭載・自動交換モデル、1枚搭載・ユーザー交換モデルの2モデルがあります。出射ポートは最大で2ポートまで拡張できます。
検出器はマルチチャンネル検出器や、PMTなどの単素子センサーも用途に応じて取付可能です。
ラマン分光などの微弱光測定や、プラズマ発光分光などの高波長分解能が必要な測定などに最適です。


・焦点距離 20 cm、35 cm52 cm75 cm4種類
・非点収差を抑えたイメージングモデルあり
・低迷光・高分散
・グレーティング最大4枚搭載・自動交換可能モデルあり
・出射ポート 最大2ポートに対応


■イメージング性能
MS520Xイメージングモデルのイメージング性能

MS5204iで取得したスペクトル画像。
 (回折格子1800l/mmHgランプ光源、マルチチャンネルファイバーバンドル、ファイバーコア径200 μmCCDピクセルサイズ 24×24 μm)
※他のイメージングモデルの性能は、下記分光器カタログをご参照ください。


■光学スキーム

MS200x、入射1、出射2 MS350x、入射1、出射2 MS520x、入射1、出射2

■MS200xシリーズの装置構成

入射ポート側 出射ポート側

■M3500x、MS520xシリーズの装置構成

入射ポート側 出射ポート側

※ 他のモデルの装置構成は、下記分光器カタログをご参照ください。


仕様

■ 仕様 : 高性能分光器MSシリーズ

モデル名MS200xMS350xMS520x MS750x
光学設計ツェルニターナ型 (イメージングモデル:非点収差補正あり)
ドライブ種類warmsine
入射ポート数1
出射ポート数1   ( オプション:2 )
搭載グレーティング枚数1 または 4
測定可能波長範囲185 nm – 60 μm
F 値 (@ 入射 )3.63.85.48.9
焦点距離 (@ 出射 )200 mm350 mm520 mm750 mm
迷光 *13 x 10-51 x 10-51 x 10-65.5 x 10-7
焦点面26 x 10 mm28 x 10 mm
逆線分散 *24.12 nm / mm2.37 nm / mm1.55 nm / mm1.02 nm / mm
波長分解能 *2
  - PMT
(@10 μm スリットサイズ )
0.11 nm0.06 nm0.028 nm0.015 nm
  - CCD 検出器
(@12 μm ピクセルサイズ )
0.12 nm0.07 nm0.034 nm0.02 nm
エッシェルグレーティング対応--++
波長再現性 *2± 0.036 nm± 0.03 nm± 0.007 nm± 0.007 nm
波長精度 *2± 0.07 nm± 0.06 nm± 0.034 nm± 0.034 nm
平均スキャンステップ *20.012 nm0.01 nm0.0017 nm0.0017 nm
水平倍率 *31.181.091.071.05
垂直倍率 *31.481.491.291.125
垂直方向分解能 *2 *3< 40 μm< 35 μm< 20 μm< 15 μm
インターフェースEthernet
寸法300 x 200 x 160 mm510 x 395 x 200 mm635 x 339 x 270 mm950 x 361 x 343 mm
重量9 kg19 kg25 kg45 kg
*1:632.8nmレーザーラインから20nm離れた位置における値
*2:回折格子1200 l/mm、波長546nm、入射スリット幅15 μmおよび検出器画素サイズ15 μmの場合
*3:イメージングモデルの場合


各資料

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