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2チャンネルイメージング分光器 NP250-2

製品詳細

分野

  • 分析・検査
  • 計測
  • プラズマ
  • バイオ・ライフサイエンス
  • 装置開発
  • その他

メーカー

SOL instruments GmbH(ドイツ)

正規代理店

概要

2チャンネルイメージング分光器NP250-2は、上下2段に異なるグレーティングを搭載し、2つの独立したスペクトルチャンネルを持つ特徴的な分光器です。
F値4.2、焦点距離270 mmで、高性能イメージングを可能にする放物面ミラーを含み、高空間分解能と高波長分解能を提供します。
入射は直接入射とファイバー入射のどちらも可能です。


■装置図

装置図と光路


特長

・2つの独立したスペクトルチャンネル
・独立駆動の2段グレーティング
・高空間分解能・高波長分解能
・幅広い波長域と高波長分解能の同時測定
・2倍の波長域測定が可能
・放物面ミラー使用
・多種のグレーティングを用意


●アプリケーション
・マルチチャンネル分光
・紫外-可視-赤外領域のスペクトル測定
・発光、蛍光、ラマン分光測定
・透過率・反射率測定


仕様

■ 仕様 : 2チャンネルイメージング分光器 NP250-2

光学システム
光学設計2つの独立したチャンネルを持つ非点収差補正ありのModified Hillスキーム
波長範囲185 nm ~ 60 μm (※グレーティングによる)
F値 (標準)4.2
F値 (各チャンネル)6.1
焦点距離270 mm
グレーティング回転角度による制限されたスキャニング範囲 (@1200 l/mm)0 ~ 1280 nm
主要ミラー軸外放物面ミラー
迷光 (レーザーライン632.8nmから20nm離れた位置)2.5 x 10-5
非点収差補償光学系
水平倍率1.09
垂直倍率1
垂直方向分解能 - フィールド中心2 μm
- フィールド中心から 10nm離れた位置0.2 mm
焦点面25 x 8 mm
駆動系
モーターマイクロステッパー
ドライブWorm
ステップサイズ1.62 arc seconds
精度± 1 ステップ
最大速度10000 ステップ/s
制御系
インターフェースEthernet
サイズ・重量
全体サイズ (L x W x H)510 x 280 x 215 mm
光学高さ111 ~ 120 mm
重量14 kg
電源110 – 230 V, 50/60 Hz
消費電力< 35 W

光学系 *1
逆線分散2.91 nm/mm
空間分解能 - PMT (@スリット幅10 μm)0.07 nm
- デジタルカメラ
(@14 μmピクセル)
0.08 nm
波長再現性± 0.03 nm
波長精度± 0.06 nm
波長ステップサイズ0.01 nm
グレーティング
同時設置可能枚数2
サイズ50 x 40 x 10 mm
固定手動交換可能なグレーティング用ポジショナー
回転グレーティング加工表面の中心
グレーティング位置再現性 *2 - 波長方向± 0.02 nm
- 垂直イメージ位置± 0.2 nm
ポート
ポート数入射 : 1、出射 : 2
波長方向に対する出射ポート位置再現性 *2± 0.03 nm
ポート切り替え時間30 s
スペクトルスリット
制御・電動:ステッパードライブ
・手動:マイクロメーターねじ
開口幅0 ~ 2.0 mm
平行度± 1 μm
精度 (@スリット幅 1 mm)± 10 μm
再現性 - 電動操作± 1 μm
- 手動操作± 1.5 μm
読み込み精度 (@マイクロメーター)2 μm
ステップサイズ (@電動)0.5 μm
高さ10 mm (絞り制御 0 ~ 10 mm)
*1 :グレーティング 1200 l/mm、波長546 nm、検出画素24 μmの場合
*2 :グレーティング 1200 l/mm、波長546 nmの場合


各資料

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