高スループット/高イメージング性能分光器 MSシリーズ

製品概要

SOL instruments社のMSシリーズ分光器は、ツェルニターナ型を採用した高スループット/高イメージングの高性能分光器です。
焦点距離は必要な分解能に応じて20 cm、35 cm、52 cm、75 cmの4種類から選択可能です。

また、グレーティングは最大で4枚搭載可能、出射ポートは最大で2ポートまで対応可能、
非点収差と迷光を抑え、イメージングにも対応させたモデルも可能です。

検出器はマルチチャンネル検出器や、PMTなどの単素子センサーも用途に応じて取付可能です。

ラマン分光などの微弱光測定や、プラズマ発光分光などの高波長分解能が必要な測定などに最適です。

特長

◆用途に合わせた焦点距離 20cm,35cm,52cm,75cm  ◆非点収差を抑えたイメージングモデル可能  ◆低迷光

◆グレーティング 最大4枚搭載、自動切換  ◆出射ポート 最大2ポート(CCD/ICCD、CCD/PMTなど)

イメージング性能

■ MS520xシリーズのイメージング性能


※ MS5204i取得したスペクトル画像。
 (回折格子1800 l / mm、Hfランプ光源、マルチチャンネルファイバーバンドル、ファイバーコア径200µm、CCDピクセルサイズ24×24 µm)

※ 他のモデルのイメージング性能は、下記分光器カタログをご参照ください。
  SOL社製分光器カタログ

光学スキーム

■ 光学スキーム例

    
(左:MS200x、入射1、出射2)
(中:MS350x、入射1、出射2)
(右:MS520x、入射1、出射2)

構成

■ MS200xシリーズの装置構成

  
(左:入射ポート側)
(右:出射ポート側)

■ MS350x、MS520xシリーズの装置構成

   
(左:入射ポート側)
(右:出射ポート側)

※ 他のモデルの装置構成は、下記分光器カタログをご参照ください。
  SOL社製分光器カタログ

仕様

■ 仕様 : 高性能分光器MSシリーズ

モデル名MS200xMS350xMS520x MS750x
光学設計ツェルニターナ型 (イメージングモデル:非点収差補正あり)
ドライブ種類warmsine
入射ポート数1
出射ポート数1   ( オプション:2 )
搭載グレーティング枚数1 または 4
測定可能波長範囲185 nm – 60 μm
F 値 (@ 入射 )3.63.85.48.9
焦点距離 (@ 出射 )200 mm350 mm520 mm750 mm
迷光 *13 x 10^-51 x 10^-51 x 10^-65.5 x 10^-7
焦点面26 x 10 mm28 x 10 mm
逆線分散 *24.12 nm / mm2.37 nm / mm1.55 nm / mm1.02 nm / mm
波長分解能 *2
  - PMT
(@10 μm スリットサイズ )
0.11 nm0.06 nm0.028 nm0.015 nm
  - CCD 検出器
(@12 μm ピクセルサイズ )
0.12 nm0.07 nm0.034 nm0.02 nm
エッシェルグレーティング対応--++
波長再現性 *2± 0.036 nm± 0.03 nm± 0.007 nm± 0.007 nm
波長精度 *2± 0.07 nm± 0.06 nm± 0.034 nm± 0.034 nm
平均スキャンステップ *20.012 nm0.01 nm0.0017 nm0.0017 nm
水平倍率 *31.181.091.071.05
垂直倍率 *31.481.491.291.125
垂直方向分解能 *2 *3< 40 μm< 35 μm< 20 μm< 15 μm
インターフェースEthernet
寸法300 x 200 x 160 mm510 x 395 x 200 mm635 x 339 x 270 mm950 x 361 x 343 mm
重量9 kg19 kg25 kg45 kg
*1:632.8nmレーザーラインから20nm離れた位置における値
*2:回折格子1200 l/mm、波長546nm、入射スリット幅15 μmおよび検出器画素サイズ15 μmの場合
*3:イメージングモデルの場合