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製品情報

シングルモード高エネルギーQ-スイッチナノ秒Nd:YAGレーザー ANL SLMシリーズ

製品詳細

分野

  • 分析・検査
  • 計測
  • レーザー加工
  • センシング
  • プラズマ
  • その他

メーカー

EKSPLA(リトアニア)

正規代理店

概要

ANL SLMシリーズは、狭線幅の外部LDシード光源や共振器ロックのピエゾ素子などを使用しない、LD励起セルフシード光源をマスターオシレーターに採用したシングルモード高エネルギーQ-スイッチNd:YAGレーザーです。
標準のパルス幅は2 ns、オプションにより2 – 25 nsの範囲で変更可能です。材料加工、OPCPATi:sapphireの励起、光学部品のテストなどのアプリケーションに最適です。


■ パフォーマンス

ANL SLMシリーズの時間的パルス波形 @ 1064 nm (typical) 高エネルギーANLシリーズの長時間エネルギー安定性 (typical)
ANL SLMシリーズのビームプロファイル@ 1064 nm、出射口から50 cm (typical) ANL SLMシリーズのビームプロファイル@ 532 nm、出射口から30 cm (typical)

特長

・最大パルスエネルギー:10000 mJ @ 1064 nm
・パルス幅:5 ns(標準)、10 – 20 ns(オプション)
・繰り返し周波数:10 Hz
・M2値:~ 5 / 20 – 90(オプション)
・高調波発生(オプション:第二、第三、第四)


仕様

■ ANL SLMシリーズ仕様

主な仕様 1)ANL2k10-SLMANL5k10-SLMANL10k10-SLM
 出力エネルギー@ 1064 nm 2000 mJ 5000 mJ 10000 mJ
@ 532 nm 2) 3)1000 mJ 2500 mJ 5000 mJ
@ 355 nm 2)450 mJ 1300 mJ 2500 mJ
@ 266 nm 2)140 mJ 750 mJ 1500 mJ
繰り返し周波数10 Hz
パルス幅 4)2 ± 0.5 ns
パルスエネルギー安定性 5)@ 1064 nm ≤ 1 %
@ 532 nm ≤ 2 %
@ 355 nm ≤ 3 %
@ 266 nm ≤ 4 %
長時間パワードリフト 6)± 2 %
ビーム空間プロファイル 7)スーパーガウシアン
M2 8)4.46.69.2
ビーム径 9)~ 12 mm ~ 18 mm ~ 25 mm
ビーム位置安定性 10)≤ 25 μrad
ビーム広がり角≤ 0.5 mrad
ジッター 11)≤ 0.2 ns
線幅≤ 0.01 cm-1 (SLM)
偏光直線、> 90 %
物理的特性 12)
レーザーヘッドサイズ
(幅 x 長さ x 高さ:mm)
455 x 1220 x 270 600 x 1500 x 300 600 x 2000 x 300
電源サイズ(幅 x 長さ x 高さ:mm)550 x 600 x 1030 550 x 600 x 1030 - 2ユニット 550 x 600 x 1650 - 2ユニット
アンビリカルケーブル 13)5 m
使用要求 14)
電源 15)208, 380, 400 VAC、三相、50 / 60 Hz
消費電力 16)≤ 5 kVA ≤ 6 kVA ≤ 8 kVA
外部冷却水 16)5 L / 分、2 Bar、15 ℃以下 7 L / 分、2 Bar、15 ℃以下 10 L / 分、2 Bar、15 ℃以下
周囲温度(室温)22 ± 2 ℃
保管温度15 -35 ℃
相対湿度(結露しないこと)≤ 80 %
クリーンルームクラスISO クラス 7 以上
*1:継続的な改善のため、すべての仕様は予告なく変更される場合があります。「typical」とマークされたパラメータは仕様ではありません。上記の仕様はお客様のご要望に合わせてカスタマイズすることが可能です。特に明記されていない限り、仕様はオプションが無い1064nmで測定したものです。
*2:高調波出力はオプションです。仕様値はご購入頂いた各高調波ユニットに対して有効です。また同時の出力はできません。
*3:第二高調波は変換効率を70%にあげられるLBO結晶に交換することが可能です。もしTH/FHオプションもご購入される場合、第二高調波の変換効率は50%減少します。
*4:標準のパルス幅は2nsです。それ以外のパルス幅は2 – 25 nsの間でご注文可能です。出力エネルギーはパルス幅に依存するので変わる可能性がございます。
*5:安定した環境下で平均出力エネルギーを正規化した値(RMS、60秒の平均化)。
*6:周囲環境の温度変化が±2℃以内で30分のウォームアップ後8時間測定した値。
*7:near-fieldで6-11次のスーパーガウシアン空間モード
*8:M2はビームパラメータを使って算出された値です。実際に測定された値は異なるかもしれません。
*9:FWHMの位置で測定。
*10:集光素子を使用して集光面でのビームの中心位置の動きで評価(RMS、60秒の平均化)。
*11:電気的出力信号(TRIG OUT:3.5V @ 50 Ω)に対しての光パルスのジッター。
*12:システムサイズは仮のもので、お客様のレイアウトやオプションに依存します。
*13:ご要望により最長10mまで可能です。
*14:詳細はメーカーのカタログをご参照ください。
*15:電圧の変動の許容範囲は通常の値から-15% ~ +10%以内です。
*16:消費電力と外部冷却水はシステムの構成によって値が変わります。


各資料

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