製品情報
AFM/SPM校正用グレーティング
製品詳細
概要
原子間力顕微鏡(AFM)、走査型プローブ顕微鏡(SPM)の各種校正や評価にお使いいただける校正用グレーティングです。校正の種類や評価に応じて、適切なグレーティングをご選択頂けます。
より安価でご案内できる、複数のグレーティングをまとめたセットもございます。
特長
・豊富なラインアップ 9種
・XYZ軸校正やティップ形状評価など
・低価格
・複数のグレーティングをまとめた安価なセットあり
仕様
■校正用グレーティングモデル
Model | TGZ2 |
---|---|
Application | ・Z軸校正用 |
Structure | step - SiO2, bottom - Si![]() |
Pattern type | 2-Dimensional |
Period | 3 ± 0.05 µm |
Height | 110 ± 2 nm* |
Chip size | 5 x 5 x 0.5 mm |
Effective area | central square 3 x 3 mm |
Model | TGZ3 |
---|---|
Application | ・Z軸校正用 |
Structure | step - SiO2, bottom - Si![]() |
Pattern type | 2-Dimensional |
Period | 3 ± 0.05 µm |
Height | 520 ± 3 nm* |
Chip size | 5 x 5 x 0.5 mm |
Effective area | central square 3 x 3 mm |
Model | TGZ4 |
---|---|
Application | ・Z軸校正用 |
Structure | step - SiO2, bottom - Si![]() |
Pattern type | 2-Dimensional |
Period | 3 ± 0.05 µm |
Height | 1517 ± 20 nm* |
Chip size | 5 x 5 x 0.5 mm |
Effective area | central square 3 x 3 mm |
(* 300個のバッチから取り出した5個のステップ高の平均値を仕様に用いているため、ステップ高の仕様数値がバッチごとに変更されます。仕様数値の±10%を公差としています。)
■ グレーティングセット
グレーティングセット | 内容 |
---|---|
TGS1 | TGZ1、TGZ2、TGZ3 |
TGS2 | TGZ1、TGZ2、TGZ3、TGT1、TGG1、TGX1 |
TGS1F | TGZ1、TGZ2、TGZ3、TGZ4 |
TGSFull | TGZ1、TGZ2、TGZ3、TGQ1、TGT1、TGG1、TGX1 |
TGSFull+ | TGZ1、TGZ2、TGZ3、TGQ1、TGT1、TGG1、TGX1、TDG01 |
TGS1_PTB | TGZ1、TGZ2、TGZ3 (PTB校正証明書付き) |
各資料
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