PiezoConcept社製高性能ピエゾステージ

製品概要

PiezoConcept社製のピエゾステージは、多くの倒立顕微鏡に設置可能なように設計された高性能ピエゾステージです。
優れた分解能・再現性を持つ他、色々な用途に使いやすいように、超薄型かつ大きな開口部を持つなど、多くの特長を持ちます。
更に広い範囲での位置調整に対応するため、マイクロメーターのある粗動位置調整用マニュアルステージのついたハイブリッドステージもご提案可能です。
熱安定性が必要なアプリケーションに対しては、高い熱安定性をもつインバール製モデルもご提供可能です。

●用途
 ・共焦点顕微鏡
 ・3Dイメージング
 ・超解像顕微鏡
 ・ナノリソグラフィ
 ・光ピンセット
 ・AFM / SPM
 ・オートフォーカス など

特長
・移動距離 最大800μm (XY)、最大300μm (Z)
・超薄型モデルあり
・大きな開口部モデルあり
  ・40 x 40 mm
  ・66 x 66 mm
  ・83 x 66 mm
  ・83.6 x 54 mm
  ・128.5 x 86.5 mm
・クローズドループ制御
・低ノイズ、pmレベル
・粗動位置調整用のマニュアルステージとのハイブリッドモデルもご提供
・多くの倒立顕微鏡と組み合わせ可能
・高い熱安定性を持つインバール製モデルあり
仕様

■ 仕様:1軸ステージ

モデル名移動範囲
(μm)
全範囲再現性
(nm)
共進周波数
(Hz)
開口部
(mm)
Z-STAGE5 - 500.01 - 0.112500 - 3500-
HS110 - 1000.02 - 0.27000 - 1500-
HS1H30 - 1000.06 - 0.24000 - 1500Φ33
TT15 - 100.01 - 0.022000 - 1200-
CX.1001000.2400-
CZ.1001000.2450-
FOCHS.1001000.21175-
FOC100 - 3000.2 - 0.6500 - 250-
LF1100 - 3000.2 - 0.6500 - 30066 x 66
Z-INSERT100 - 5000.2 - 1500 - 250128.5 x 86.5
LTZ100 - 5000.2 - 1500 - 250128.5 x 86.5
SLR100 - 15000.6 - 3745 - 135-

■ 仕様:2軸ステージ (XY軸)

モデル名移動範囲 XY
(μm)
全範囲再現性
(nm)
共進周波数 X/Y
(Hz)
開口部
(mm)
LFHS230 - 750.06 - 0.153000 / 200066 x 66
LTHS230 - 750.06 - 0.151500 / 100083 x 66
C2.1001000.2400 / 250-
LFS21000.2400 / 30040 x 40
LT2100 - 3000.2 - 0.6500 - 300 / 400 - 25066 x 66
BIO2100 - 3000.2 - 0.6500 - 300 / 400 - 25083.6 x 54
LF2100 - 3000.2 - 0.6500 - 300 / 300 - 20066 x 66
MWP2.8008001.6185 / 115127.5 x 85

■ 仕様:2軸ティルトステージ (Θ・Φ)

モデル名角度移動範囲 ΘΦ
(mrad)
角度分解能
(μrad)
ノイズレベル
(μrad)
全範囲再現性
(μrad)
共進周波数 Θ/Φ
(Hz)
TT25 - 100.005 - 0.010.0005 - 0.0010.01 - 0.024000 - 2200 / 2000 - 1200

■ 仕様:3軸ステージ (XYZ軸)

モデル名移動範囲 XY/Z
(μm)
全範囲再現性 XY/Z
(nm)
共進周波数 X/Y/Z
(Hz)
開口部
(mm)
LT3100 - 300 / 100 - 3000.2 - 0.6 / 0.2 - 0.6500 - 300 / 400 - 250 / 400 - 25066 x 66
BIO3100 - 300 / 100 - 3000.2 - 0.6 / 0.2 - 0.6500 - 300 / 400 - 250 / 400 - 25083.6 x 54
LF3100 - 300 / 500.2 - 0.6 / 0.1500 - 300 / 350 - 200 / 150066 x 66
LFS3100 / 200.2 / 0.04350 / 250 / 270040 x 40
LFHS330 - 75 / 25 - 500.06 - 0.15 / 0.05 - 0.13000 / 2000 / 150066 x 66
LTHS375 / 500.15 / 0.11500 / 1000 / 150066 x 66
C3.100100 / 1000.2 / 0.2400 / 250 / 220-
CUBE3100 - 200 / 100- 2000.2 - 0.4 / 0.2 - 0.4200 / 200 / 500-
SPM330 - 75 / 5 - 500.06 - 0.15 / 0.01 - 0.13000 / 2000 / 12500 - 3500-
SPM3LR100 - 300 / 5 - 500.2 - 0.6 / 0.01 - 0.1500 - 250 / 300 - 150 / 12500 - 3500-

※分解能は各移動範囲の100万分の1、ノイズレベルはその分解能の1/10 です。(typical)

資料