対物レンズ用Zピエゾポジショナー

製品概要


PiezoConcept社製のZピエゾポジショナーは、Zスタック、レーザー加工、オートフォーカス、またはオートフォーカスドリフト補正システムとの組み合わせなど、幅広い用途で使用されています。

アルミニウムと真鍮製で、pmレベルの安定性を持つセンサーを備え、優れた分解能・再現性を持ちます。

任意の対物レンズを使用できるように、真鍮製のマウントリングは簡単に交換できます。
利用可能なスレッドは、RMS、M25、M26、M27、およびM32です。

●用途
 ・干渉分光法
 ・オートフォーカスシステム
 ・3Dイメージング
 ・共焦点顕微鏡
 ・超解像顕微鏡
 ・半導体計測
 など

特長
・移動距離 最大300 μm (100~300 μm)
・パラレルフレクシャーガイド
・クローズドループ制御
・シリコンセンサー技術
・< 30 pm ノイズレベル
・対応スレッド RMS、M25、M26、M27、M32
・任意の対物レンズを使用できるように、真鍮製のマウントリングは簡単に交換可能
仕様

■ 仕様:対物レンズ用Zピエゾポジショナー

型名FOCHS.100FOC100FOC200FOC300
移動範囲 (μm)100100200300
分解能 (nm)0.10.10.20.3
ノイズレベル (nm) (typical)0.010.010.020.03
全範囲再現性 (nm)0.20.20.40.6
リニアリティ (typical)0.0002
共振周波数 (Hz)1175500350250
スティッフネス (N/μm)3.50.60.40.3
最大荷重 (kg) (@水平使用)0.5
最大荷重 (kg) (@垂直使用)0.5
センサーSilicon HRセンサー
サイズ (W x L x H, mm)Φ65.5 x 50.353.6 x 64.2 x 34.50
使用材料Al
ケーブル長 (m)2
推奨コントローラー高速スタンダード

※分解能は各移動範囲の100万分の1、ノイズレベルはその分解能の1/10 です。(typical)