AFM/SPM用校正グレーティング

製品概要
原子間力顕微鏡、走査型プローブ顕微鏡用の校正グレーティングです。
校正の種類や評価に応じて、適切なグレーティングをご選択頂けます。
また、より安価でご案内できる、複数のグレーティングをまとめたセットもございます。

■ 校正グレーティング

TGZ1, TGZ2, TGZ3, TGZ4
Z軸校正用のグレーティングです。
ステップ高の異なる4種類を揃えています。(20~1500nm)

(※300個のバッチから取り出した5個のステップ高の平均値を仕様に用いているため、
ステップ高の仕様数値がバッチごとに変更されます。
仕様数値の±10%を公差としています。)

 

 

TGQ1
XYZ軸の同時校正用のグレーティングです。
その他
・スキャナーの水平校正
・水平ノンリニアリティ、ヒステリシス、クリープ、クロスカップリングエフェクトの検出
に使用します。

 

 

TGT1
剣山のような形状をした校正グレーティングです。
・AFM/SPMプローブのティップの形状と鋭さの評価
・ティップの劣化・汚染防止
に使用します。

 

 

TGG1
山の稜線の形状を持つ校正グレーティングです。
・X軸またはY軸の校正
・水平または垂直スキャナーのノンリニアリティ検出
・角変形の検出
・ティップ特性評価
に使用します。

 

 

TGX1
台形状構造の一部が切り落とされたような形状の校正グレーティングです。
・水平スキャナーの校正
・水平ノンリニアリティ、ヒステリシス、クリープ、クロスカップリングエフェクトの決定
・ティップの鋭さの決定
に使用します。

   
TDG01
サブミクロンレベルの校正のためのグレーティングです。
・X軸またはY軸の校正 (278nm period)
に使用します。

特長
・豊富なラインナップ
・安価
・単品販売の他、グレーティングセットでもご提供